理事长单位
北京中科科仪股份有限公司
副理事长单位
北京北仪优成真空技术有限公司
中国电子科技集团公司第十二研究所
北京华丞电子有限公司
北京卫星环境工程研究所
北京大学电子学院
北京精仪天和智能装备有限 公司
北京创世威纳科技有限公司
常务理事单位
中国航天科技集团第五研究院第五一四研究所
中国航天科技集团第九研究院第七〇四研究所
中科九微科技有限公司
北京理工大学集成电路与电子学院
浩德科仪(北京)科技有限公司
清华大学化学系
中国科学院国家空间科学中心
北京中科科美科技股份有限公司
遨天科技(北京)有限公司
中熵科技北京有限公司
承德兴科真空设备有限责任公司
天津市宇航兴达真空设备制造有限公司
理事单位
中国航空制造技术研究院
北京艾博智业离子技术有限公司
北京超品科技有限公司
北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司
北京工业大学
北京海乐威真空科技发展有限公司
北京合纵天琦新材料科技有限公司
北京金锐光机电技术开发有限公司
北京纳诺帕技术中心
北京四海祥云流体科技有限公司
北京天地精仪科技有限公司
北京哲勤科技有限公司
北京真维嘉真空技术发展有限公司
杭州阿耐思特岩田友佳空压机有限公司上海分公司
杭州盘古自动化系统有限公司
莱宝（天津）国际贸易有限公司
厚礼博精密仪器（北京）有限公司
昆山新莱洁净应用材料股份有限公司
英福康（广州）真空仪器有限公司
北京和华腾真空泵压缩机有限公司
涿州市琦瑞玻璃制品厂
北京格物善为真空科技有限公司
监事单位
清华大学电子工程系
中国科学院物理研究所
中国原子能科学研究院